IPA置換乾燥に代わる溶剤系水切り乾燥装置です。2種類のフッ素系溶剤を用いる事で、液管理と簡素化と仕上げ精度の向上を実現しました。低沸点下による乾燥のため、製品へのダメージを軽減します。持ち込まれる水分を前段で粗取りすることにより、仕上げ時の乾燥シミを防ぎます。HFCやHFEも対応可能です。