フッ素系溶剤を用いてパーティクル除去を行います。第1槽で浸漬洗浄、第2槽でベーパー洗浄を行うことにより、高い洗浄精度と乾燥性を実現します。また、大型設備へのスケールアップを行うことも可能です。
仕様
| 治具寸法 | 150W×150D×100H（mm） | 第2槽（ベーパー）ヒーター | 700W |
| 超音波 | 200W／40kHz | ユーティリティー | 電源 三相200V/220V 冷却水 10L／min |
| 本体外寸法 | 1000W×600D×900H（mm） | 仕込み液量 | 17L |
| 第1槽（温液）ヒーター | 700W |
多孔板を用いた洗浄槽内の濾過システム
洗浄槽に多孔板を設置し、洗浄剤を吐出あるいは回収する事により、槽内の清浄度を高めます。サクションフィルターを通過した洗浄剤は、ポンプにより圧送されてフィルターを通過し、吐出側チャンバーから、槽内に送り込まれます（①）。
沈降するパーティクルは、槽下部から排出され（②）、また浮遊するパーティクルは、多孔板から中間チャンバーへ排出されます（③）。
浮上するパーティクルは、オーバーフローで予備槽へ排出されます（④）。これにより、パーティクルの比重や水流に左右されずに、効率よく浄化をする事が可能となります。
また、排出される①～④のバランスは、調整バルブA～Cにより調節する事が可能です。
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